DOP用于HEPA過(guò)濾器效率測(cè)量，已有近40年歷史，近幾年來(lái)懷疑其所含環(huán)苯是致癌物質(zhì)，現(xiàn)改用DOS DEHS(常用于單分散的)。這些物質(zhì)對(duì)IC及盤(pán)片驅(qū)動(dòng)器生產(chǎn)早已認(rèn)為對(duì)產(chǎn)品有害，因此現(xiàn)常用聚苯乙烯乳膠球(SPLs)，粒徑在0.1~1μm的單分散系，可方便進(jìn)行控制。但有研究認(rèn)為用DOP測(cè)試過(guò)過(guò)濾器釋放出的DOP量與大氣中含有的DOP量相差不明顯。

DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過(guò)Laskin噴管霧化成多分散系DOP等，粒徑在0.1~lμm，t>0.35μm的占90%以上。單分散系DOP，現(xiàn)常用DEHS，加熱至一定溫度其溶液蒸發(fā)然后冷卻之，控制冷卻溫度以控制粒徑。采用多分散的DOP測(cè)得的過(guò)濾器效率要比用單分散的為高，其間現(xiàn)尚無(wú)轉(zhuǎn)換關(guān)系可循。